אן אנדער איינער איז די גאַז - פאַסע אופֿן, כעמישער פארע דעפּאַזישאַן (CAV) אופֿן, אויך באקאנט ווי פּיראָליסיס אופֿן, טרוקן אופֿן אָדער קאַמבאַסטשאַן אופֿן. די רוי מאַטעריאַלס זענען בכלל סיליציום טעטראַטשלאָרידע, זויערשטאָף (אָדער לופט) און הידראָגען, וואָס רעאַגירן ביי הויך טעמפּעראַטורעס.
The reaction equation is: SiCl4+2H2+O2 - >סיאו2+4הקל. לופט און הידראָגען זענען ריספּעקטיוולי אונטערטעניק צו פּרעשעראַזיישאַן, צעשיידונג, קאָאָלינג און דיכיידריישאַן, סילאַקאַ געל דרייינג, שטויב באַזייַטיקונג און פילטריישאַן איידער זיי זענען געשיקט אין די סינטעטיש כיידראַלאַסאַס אויוון. נאָך די רוי מאַטעריאַל פון סיליציום טעטראַטשלאָרידע איז געשיקט צו די דיסטאַליישאַן זייַל פֿאַר דיסטאַליישאַן, עס איז העאַטעד און יוואַפּערייטיד אין די יוואַפּערייטער, און דעמאָלט געשיקט צו די סינטעטיש כיידראַלאַסאַס אויוון מיט טרוקן און געפילטערט לופט ווי די טרעגער. סיליציום טעטראַטשלאָרידע איז וואַפּאָריזעד ביי הויך טעמפּעראַטורעס (פלאַם טעמפּעראַטור 1000 -1800 גראַד) און דערנאָך אַנדערגאָו גאַז - פאַסע הידראָליסיס מיט אַ זיכער סומע פון הידראָגען און זויערשטאָף (אָדער לופט) אַרום 1800 גראַד. אין דעם פונט, די גאַז-פאַסע סיליקאַ פּאַרטיקאַלז דזשענערייטאַד זענען גאָר פייַן און פאָרעם אַעראָסאָלס מיט גאַסאַז, וואָס זענען שווער צו כאַפּן.
דעריבער, זיי זענען ערשטער אַגגרעגאַטעד אין גרעסערע פּאַרטיקאַלז אין אַ אַגגרעגאַטאָר, דעמאָלט געזאמלט דורך אַ סיקלאָן סעפּאַראַטאָר, און געשיקט צו אַ דעאַסידיפיקאַטיאָן אויוון. די גאַז -פאַסע סיליקאַ איז געוואשן מיט ניטראָגען - מיט לופט ביז די PH ווערט איז 4-6, וואָס איז די פאַרטיק פּראָדוקט